| 单晶硅非球面镜加工范围及技术指标（可定制） | |
|
加工直径 |
φ300mm 以下 |
|
RMS |
λ /100 @632.8nm |
|
表面光洁度 |
优于 40/20 |
|
中心厚误差 |
± 0.02mm |
|
膜系 |
金属，DLC, 增透, 导电 |
| 单晶硅非球面镜加工范围及技术指标（可定制） | |
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加工直径 |
φ300mm 以下 |
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RMS |
λ /100 @632.8nm |
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表面光洁度 |
优于 40/20 |
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中心厚误差 |
± 0.02mm |
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膜系 |
金属，DLC, 增透, 导电 |
