φ480mm微晶平面反射镜 

加工范围及技术指标（可定制）
PV	优于λ/20
RMS：	优于λ/200
表面质量	优于20/10
平行度	优于1″
外径加工范围	φ100mm-φ620mm
可加工材料	碳化硅 微晶 蓝宝石  熔融石英KrF/ArF级 K9
膜系	增透、加强铝/银/金/介质高反（擅长膜后面型保证）
应用领域	测量成像、保护玻璃、光刻机工件台、快反镜、振镜。

480微晶平平面反射镜面形图