透反射式偏心仪
全欧球径仪 精度万分之零点五
美国安捷伦CARY7000分光光度计
激光平面干涉仪
超净工作台
ZYGO干涉仪
ZYGO干涉仪配备0.65、0.75、1.1、3.3、7.2、11、平面PV λ20标准镜头
4.8米隔振光学平台
定心仪